Производство микроэлектроники

Производство микроэлектроники

Создание чистых зон и чистых помещений по классу 3–5 ИСО. Очистка воздуха от всех видов загрязнителей: химических, микробиологических, аэрозольных.
Очистка рециркуляционного воздуха для чистых помещений
Рециркуляторы и рециркуляционные системы
Очистка и обеззараживание приточного, вытяжного воздуха
Канальные системы очистки и обеззараживания
Создание чистых зон и чистых помещений
Ламинарные потолки и фильтр-вентиляционные модули
Создание чистых зон и чистых помещений по классу 3–5 ИСО. Очистка воздуха от всех видов загрязнителей: химических, микробиологических, аэрозольных.

Преимущества Аэролайф

Высокоэффективная очистка воздуха — ключевой фактор в производстве микроэлектроники. Системы Аэролайф предотвращают попадание в рабочую зону мельчайших частиц пыли или химических веществ, которые могут содержаться в воздухе и привести к появлению брака.
Технологии и инновации

Блок зарядки аэрозолей

Блок зарядки аэрозолей обеспечивает симметричное и постоянное электростатическое поле внутри элемента и высокую эффективность зарядки аэрозолей размером 0,1–100 мкм при линейной скорости воздушного потока до 4 м/с.
Зарядка наноразмерных частиц
Зарядка наноразмерных частиц
Отсутствие затрат на эксплуатацию
Отсутствие затрат на эксплуатацию
Низкое энергопотребление
Низкое энергопотребление
Блок зарядки аэрозолей обеспечивает симметричное и постоянное электростатическое поле внутри элемента и высокую эффективность зарядки аэрозолей размером 0,1–100 мкм при линейной скорости воздушного потока до 4 м/с.

⁠Барьерный электростатический НЕРА-фильтр

Барьерный электростатический НЕРА-фильтр задерживает аэрозольные загрязнители и мельчайшие частицы пыли размером до 0,1 мкм, на которых могут быть адсорбированы неприятные запахи, токсичные химические вещества и микроорганизмы.
Высокая ёмкость и низкая стоимость фильтра
Высокая ёмкость и низкая стоимость фильтра
Низкое сопротивление воздушному потоку — 35 Па
Низкое сопротивление воздушному потоку — 35 Па
Высокий класс фильтрации аэрозолей — до ULPA U15
Высокий класс фильтрации аэрозолей — до ULPA U15
Барьерный электростатический НЕРА-фильтр задерживает аэрозольные загрязнители и мельчайшие частицы пыли размером до 0,1 мкм, на которых могут быть адсорбированы неприятные запахи, токсичные химические вещества и микроорганизмы.

Фотокаталитический фильтр и УФ-А-излучатели

В фотокаталитическом блоке все газофазные загрязнители воздуха: токсичные газы, аллергены, вирусы и бактерии — адсорбируются на поверхности фотокатализатора и под действием мягкого УФ-А-излучения окисляются до безвредных составляющих.
Инактивация любых видов микроорганизмов
Инактивация любых видов микроорганизмов
Окисление химических загрязнителей
Окисление химических загрязнителей
Загрязнители не накапливаются на фильтре
Загрязнители не накапливаются на фильтре
В фотокаталитическом блоке все газофазные загрязнители воздуха: токсичные газы, аллергены, вирусы и бактерии — адсорбируются на поверхности фотокатализатора и под действием мягкого УФ-А-излучения окисляются до безвредных составляющих.

Комбинированный адсорбционно-каталитический фильтр

Комбинированный адсорбционно-каталитический фильтр предотвращает проскок вредных веществ при залповых выбросах. Загрязнители адсорбируются на поверхности каталитически активного модифицированного угольного сорбента.
Высокая ёмкость фильтра
Высокая ёмкость фильтра
Каталитическая регенерация
Каталитическая регенерация
Улавливание залповых выбросов ЛОС
Улавливание залповых выбросов ЛОС
Комбинированный адсорбционно-каталитический фильтр предотвращает проскок вредных веществ при залповых выбросах. Загрязнители адсорбируются на поверхности каталитически активного модифицированного угольного сорбента.
О технологии
1/ 4

Документы

Каталоги4
Подробнее
Презентации2
Подробнее
BIM-модели6
Подробнее
Патенты8
Подробнее

Пожалуйста, напишите нам

Подберём решение для ваших задач

Даю свое согласие на обработку персональных данных и соглашаюсь c политикой конфиденциальности

Спасибо за обращение

Рециркуляторы для чистых помещений

Очистка приточного и вытяжного воздуха

Создание чистых зон и чистых помещений